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光電產品制造【VOCs治理】及格林斯達環保廢氣處理工程案例

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文章出處:責任編輯:作者:人氣:-發表時間:2017-07-13 16:19:00

  光電制造廠廢氣處理環保達標解決方案,格林斯達環保主要是依據光電制造企業VOCs廢氣檢測數據,或者新項目廢氣設計數據,包括:廢氣成分、濃度、排氣量和溫度等數據,然后進行廢氣處理綜合分析,結合國家環保和地方環保標準以及客戶要求,確定VOCs廢氣處理技術設計方案。

  格林斯達環保電子廠廢氣處理及客戶企業案例:
  在光電制造廢氣處理項目中,格林斯達環保電子廠廢氣處理具有代表性環保達標客戶案例有:冠捷顯示(中國)科技有限公司光電制造廠廢氣處理。

冠捷顯示科技(中國)有限公司電子廢氣處理解決方案

  在光電制造行業中,產生廢氣污染主要有五類產品的制造過程:液晶面板、顯示屏(LED)半導體集成電路、印制電路板(PCB)、電子終端產品。

  1、薄膜晶體管液晶顯示器(TFT—LCD)制造過程中的VOCs的排放:
  包括檢查和測試在內,薄膜晶體管液晶顯示器(TFT—LCD)的制造生產工藝可達100多道工序,生產過程中要使用多種化學有機溶劑和特殊氣體,產生的VOCs量大,組分復雜。TFT液晶面板生產排放VOCs污染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜工程兩大部分。陣列工程中的光刻,即:涂膠、曝光和顯影,以及彩膜工程的黑色矩BM膜制造、彩色矩陣形成(紅、綠、藍,RGB)、保護膜生成、MVA膜、PS膜生成是產生VOCs的主要工藝。同時,在成盒工程中清洗工序使用使用的有機溶劑揮發也會產生少量VOCs。TFT—LCD的制造過程中產生的VOCs主要是以異丙醇為主,其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯、這四種成分占了全部VOCs量的90%以上。
  2、LED顯示屏電子制造過程中的VOCs排放:
LED顯示屏電子組件生產產生的VOC是污染物主要來源基片處理和光刻,LED生產過程中產生的VOCs的種類主要有三氯乙烯、丙二醇醚脂、異丙醇、丙酮、丁酮等。

  3、半導體集成電路制造過程中VOCs的排放:
  半導體制造工藝中,VOCs主要來源于光刻、顯影工序,在這些工序中要用有機溶劑(如異丙醇)對晶片表面進行清洗,其揮發產生的廢氣是有機廢氣的主要來源之一。同時,在光刻過程中使用的光阻劑(光阻膠)中含有易揮發的有機溶劑,如乙酸乙酯等,在晶片處理過程中產生的有機廢氣也要揮發到大氣中。

 

中芯北方集成電路制造(北京)有限公司VOCs廢氣處理系統

 

  4、印制電路板(PCB)制造過程VOCs的排放:
  在單面、雙面和多面印制電路板制作工藝中,產生的VOCs工藝環節相對較集中,主要來源于貼膜、烘干、沉銅、印刷等工序,VOCs排放種類主要有甲醛、醇類、(乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇)、酮類(丁酮)、脂類(乙酸乙酯、乙酸丁酯)、甲苯、二甲苯等。同時,在有機溶劑的貯存過程中也會有部分VOCs產生和排放。
   5、電子終端產品制造過程中VOCs的排放:
  在電子終端產品制造中,VOCs的主要來源包括電路板清洗劑有機廢氣、電路板三防噴漆廢氣、機殼、機箱噴漆廢氣、機殼注塑廢氣。這些廢氣均來自工位上的局部排風系統、特點是排風量大、濃度低。

 

 

 

     


 

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